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半導體專用高溫真空箱

本設備適用于航空、汽車、工礦企業、家電、實驗室、科研單位及大專院校等領域對其產品及材料進行高溫烘烤、溫度干燥、低真空密封試驗、無氧處理,高溫去應力、高溫固化等應用。


半導體專用高溫真空箱

  產品參數:

應用領域

本設備適用于航空、汽車、工礦企業、家電、實驗室、科研單位及大專院校等領域對其產品及材料進行高溫烘烤、溫度干燥、低真空密封試驗、無氧處理,高溫去應力、高溫固化等應用

工作原理

操作屏設定工作真空度與溫度值,控制系統發出指令電磁閥與真空泵自動工作,到達設定壓力值真空系統停止工作,放氣電磁閥自動打開解除真空。當溫度未達到設定值時繼續給加熱器系統指令,加熱板溫度到達后可選擇保溫,保溫終了,當設定值小于測量值時,控制器給冷卻循環系統指令,自動降溫開始,到達設定值是保持或者繼續降溫。

產品名稱

真空烘箱

控溫范圍

RT+15400

可長期使用環境350

溫度分辨率

±0.1

溫度波動度

 ±0.3

傳感器精度

±0.1

溫度均勻度

±5單一隔板表面溫度(溫度到達穩定60min后加熱板表面的溫度一致性更佳)

加熱層板間溫度誤差

±2%

腔體表面溫度

室溫+15~20左右(鉸鏈與腔體加熱邊緣溫度除外)

氧氣含量

在線檢測范圍1ppm~25%

氧氣精度

0~1000ppm±1ppm,1%~25%±0.1%

氧氣傳感器壽命

3~5年

真空度控制范圍

0-99.99KPa

設計極限真空度

10Pa

真空度精度

±10%Pa

真空壓力定義

絕對壓力

真空解除

運行時間結束自動解除真空

PLC界面點動解除真空

獨立的機械手動閥門解除真空

備注:解除真空可采用進入空氣也可選用氮氣進入解除

過壓力控制

頂部增加排氣電磁閥,當墻體內部超出極限壓力值自動打開過壓力電磁閥泄壓。

氮氣流量控制

一檔、500~5000ml/min手動可調

二檔、1L~10L/min手動可調

備注:流量調節表安裝在設備操作面板方面調節。

氮氣壓力檢測

-100kpa~100kpa可設定,當腔內內部氮氣正壓力超出預警壓力值自動報警切斷進氣閥門

氮氣進氣控制

腔體底部進氣,進氣增加倒流板,防止粉末濺起。

真空計時自動抽氣

通過PLC繼電器來控制自動抽真空,且實現延時抽真空及定時開關機。抽氣管路裝有電磁閥。可設置定時開啟真空泵,自動抽氣,定時停機功能,數據記錄儲

真空度檢測方式

數字顯示真空度值(皮拉尼壓力傳感器)

溫度控制器

高精度微電腦PLC程序控溫儀,具備12個溫度模塊控制通道,溫度獨立控制,采用PID與經驗值模糊控制技術,控溫精確、波動度小,工作溫度任意設定,數據記錄儲存,USB數據導出功能,故障報警查詢功能。 

程序設定

PLC界面具備選擇固定值的溫度與真空度模式與分段保溫或者溫度斜率控制模式兩組。

數據儲存

各通道運行溫度、真空度、時間自動記錄,可查詢,可USB拷貝

通訊方式

R485/232通訊協議與通訊接口(可選用以太網口連接通訊,對接上位機系統)

控制系統權限管理

一級權限為操作員可以啟動,停止,查看運行數據界面

二級權限為技術員修改溫度與真空度運行參數,修改歷史記錄與運行模式等

三級權限為工程師修改設備原始性能參數 

物料掃碼

設備增加紅外線掃碼槍,可實現條形碼與二維碼識別,掃入后自動進入控制系統,通過后期的上位機系統查詢料單批次。 

溫度用時

室溫~30060min(溫度分布點在真空狀態略滯后)

升溫速率

1~5/min

降溫速率

0.5~3/min

備注:300時降到50用時約70min(指加熱板表面溫度)

溫度檢測

檢測記錄儀采用彩色觸摸屏界面

每層加熱板內部實時檢測到4個點溫度值,含主控溫檢測1個點

檢測傳感器采用PT100型熱電偶

記錄數據具備USB拷貝功能 

真空度形成用時

小于5~10分鐘

真空度解除用時

小于3~5分鐘

升溫烘干、抽真空計時、過濾冷凝、真空保持、自動解除真空

可進行預加熱、抽真空時間設定,保壓保溫時間設定、低溫冷凝收集、工作結束進氮氣與冷卻閥打開冷卻水循環降溫或氮氣保護降溫,同具備聲光提醒可定義

控制過程

打開門——掃描槍掃入物料條形碼——設備啟動——抽真空——進氮氣——抽真空反復——含氧量達標——充氮氣加熱開始——溫度到達抽真空——工作倒計時——降溫循環開啟——到達溫度設定值——取出物料一個循環終了 

箱體結構

采用臥式腔體設計,左側為高溫真空腔體,右側為電器控制系統、散熱風冷循環冷卻水路系統,腔體內有十二組加熱板組合,十二層不銹鋼可活動托盤、真空泵、加熱散熱冷凝器、冷卻管路與顆粒物過濾器安裝在側面電器柜內,腔體內設有抽氣口、放氣口、氮氣進氣口、抽氣真空閥安裝在箱體底部后背,排氣閥安裝頂部。 

材料

優質A3/厚度1.5mm冷軋鋼板100*100*80mm槽鋼焊接而成,表面靜電噴塑

材料

優質SUS316L/厚度3.0/5.0mm鏡面不銹鋼板,表面拋光處理

箱門結構

槽鋼與不銹鋼板連接制成(無觀察窗功能)

手動緊迫鎖緊

電磁鎖緊 

門封材料

箱門閉合松緊能調節,整體成型日本進口T型硅橡膠門封圈,確保箱內高真空度(具備冷卻水循環密封圈)

保溫材料

耐高溫陶瓷纖維

隔熱層厚度不小于120mm

溫度傳感器

高溫PT100/K型熱電偶

真空度傳感器

電子真空計

氧氣傳感器

工業級氧化鋯

使用現場需要具備條件

1、電源插頭工業級五芯32A,銅芯線徑不小于10平方。

2、氮氣管道氮氣源。

3、氮氣減壓裝置氣壓不小于0.2MPa

4、冷卻水源管道,進水壓力0.3~0.4MPa,水溫15~20℃,進水水質最好含水垢較少的純化水,以免后期高溫冷卻時管路堵塞。

5、氮氣吹出廢氣回收管道(現場具備負壓廢氣回收系統)。

6、冷凝水收集口或管道

7、壓縮空氣氣壓不小于0.3MPa

8、腔體降溫冷卻水冷管道系統

9、真空泵排煙氣現場回收負壓收集系統。

保護與警報裝置

1、獨立超溫報警切斷加熱電源

2、漏電保護

3、斷阻絲報警

4、真空泵過熱過載保護

5、馬達過熱過載保護

6、過流檢測

7、相序保護器

8、氮氣過壓力報警保護

9、電器箱煙霧檢測報警

10、欠溫度報警

11、欠真空度報警

12、進氣欠壓力報警

13、冷卻水流量報警

14、接地等保護

15、水位檢測

16、水壓報警 

三色燈報警定義

綠色燈點亮為運行正常

黃色燈點亮待機狀態

紅色燈點亮為異常報警 

加熱方式

獨立隔板加熱板加熱

 

1、獨立316L不銹鋼材質加熱板,將樣品直接擺放,最大負20Kg

2、加熱板內安裝冷卻水管路系統

3、冷卻水管路采用并聯工藝(增加分水器裝置),使每個冷卻板得到冷水一致

  

標配12塊不銹鋼托盤

316L材質厚度1.5mm板

要求托盤表面與加熱板接觸無縫隙或者縫隙做到最低

設計最大負20Kg

托盤均布劃分25個方格,每個方格尺120*120mm

每個托盤采用ABC英文字母激光標記

每個方格采用123數字標記 

降溫方式

冷卻水降溫,設計進水溫度不高于20,自動循環降溫,廢水不回收

預留可升級的現場安裝冷水機降溫機組功能。

升溫方式

獨立不銹鋼板,內部組裝不銹鋼加熱管。

冷凝水撲水器

溫度控制范圍:室溫~-10,冷凝水收集容積15升,具備收到排水閥,可實現兩臺真空泵共用。

真空系統

建議選用高效率雙級旋片式泵抽氣能力8L/S/1臺油型(非腐蝕型)

防噴油裝置

3、廢氣連接管路

4、放氣與進氣電磁閥件

5、抽氣壓差閥件

6、單向閥

7、雜物過濾裝置

8、KF真空波紋抽氣冷卻管

充氣裝置

設備預留干燥氣體注入接口開關閥件功能

機器底部安裝有4個移動腳輪,具備剎車功能,帶水平調節

加熱功率

25KW

 

AC380V/50HZ三相五線制

設備自重設備自重1205Kg

主要配件品牌

漏電保護器:施耐德

接觸器:施耐德

保險絲:正泰電器

計時器:正泰電器

固態繼電器:歐姆龍

主控PLC控制系統:臺灣臺達

彩色觸摸屏:臺灣臺達

溫度監控儀:日本歐姆龍

溫度傳感器:三星電子

真空壓力傳感器:絕壓型0--100KPa更宜電子

氮氣壓力:日本松下

加熱管:無錫楊市

電磁閥:KF40雅德客(304不銹鋼材質)

油型真空泵:D40C萊寶真空泵

氧氣檢測傳感器:愛爾蘭進口“NTRON

殘留水吹掃裝置:不銹鋼定制

銹鋼外腔體冷卻管路系統:不銹鋼定制

廢氣冷凝氣水分離器:不銹鋼定制

集中供水分配器:不銹鋼定制

氣體分配器:不銹鋼定制

控制系統

1、控制系統采用氧含量設定值控制,例如設定10PPm,真空系統自動啟動經反復抽氣與進氮氣后腔體內氧含量值到達設定值后加熱啟動。

2、增加腔體各冷卻管路內殘留水吹掃,例如一爐生產降溫結束后冷卻液體進入到達目標后冷卻液停止供液,第二次運行啟動時系統自動識別氮氣閥門打開將殘留液體吹掃干凈,避免產生高壓蒸汽。

3、腔體外壁增加不銹鋼冷卻水降溫捆綁系統,當一爐結束時該降溫系統自動打開冷卻液進入降溫。(排水口散熱時處于高溫高壓應妥善導流出去)

4、高壓蒸汽排出進入冷凝氣水分離裝置,自動控制液位后回收大系統。

5、增加氧含量監控實時記錄功能


 

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